Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Е. В. Берлин, Л. А. СейдманAnnée:
2014
Editeur::
Техносфера
Langue:
russian
Pages:
255
ISBN 13:
9785948363691
Collection:
Мир материалов и технологий
Fichier:
PDF, 373.30 MB
IPFS:
,
russian, 2014